众了！<br><br>以前工信部对于这台05专项的光刻机也不是很上心。<br><br>因为光刻机的市场规模就是那么一点点大，但ASML一家公司已经依仗自己的技术能力，占据了光刻机市场90%以上市场份额。<br><br>所以岛国的两家本来也具有光刻机生产能力的公司，因为从市场上始终赚不到钱，就只能渐渐退出了光刻机市场。<br><br>也就是说，光刻机市场实际上已经是一个成熟的市场了，ASML一家独大的局面已经长期存在，在技术没有出现重大变化之前，这个局面也就会长期保持下去了。<br><br>任何一家新进光刻机厂家，首先要考虑的就是需求在哪里。<br><br>所以，可想而知。<br><br>工信部其实也是对其做一个战略工程，长期的替代工程在做。<br><br>如果不是高怀钧一直在主推自主可控，他甚至了解这个项目详细的细节兴趣都没有。<br><br>毕竟这是科技部的事儿！<br><br>可是。。。<br><br>现在问题来了！<br><br>要撸起袖子加油干了。<br><br>光刻机，估计要上最上面的那个会了！<br><br>张领导犹豫了片刻之后，继续说道，“你的意见我了解了！我会和上面汇报的。”<br><br>“我的想法，这只代表我个人的想法！”<br><br>“一个是通过政府层面和德意志国通快集团进行联系，看看能不能让其在华国设立分公司。”<br><br>“你知道的，通快公司Trumpf为Cymer提供驱动激光器部分，而Cymer为ASML的光刻机提供光源系统。”<br><br>“另外一个我国华国科院光电所365nm波长光源，单次曝光最高线宽分辨力也达到22nm，这个信息你知道的，但是现在并不稳定，还需要进一步的深化和优化，对此，我向上面申请成立专项光刻机小组，专项解决光源研发所存在的问题。”<br><br>“第三个，华卓精科与华青大学的双工件台精度可达1.8纳米，这个有了一定的进展，同样会在光刻机小组里做联合方案解决。”<br><br>“最后一个是哈工大的激光干涉仪，这作为第二代浸润式用的不是多轴激光干涉仪而是大尺寸平面光栅量测系统，其分辨率达到了0.05纳米比较第一款只会更加优秀！”<br><br>“所以高总你对此不用担心，我们争取在两年之内，把自主可控的自主研发光刻机给搞出来。”<br><br>张领导说到的一些内容，有些他是清楚的，而有些他并不是很清楚。<br><br>当他听到从国家层面，引进通快公司时。<br><br>心中还是不由得微微一喜！<br><br>这可是会耗费国家资本的。<br><br>但是通快公司，对于自主可控的光刻机研发，真的非常，非常重要。<br><br>因为华国科院光电所365nm波长光源，并不是世界上最先进的光源，这可能会耽误很长的一段时间。<br><br>如果华国顶层进行设计，那结果就更好了！<br><br>更重要的是，专项光刻机小组。<br><br>这绝对是重量型信息！<br><br>在华国，郑智挂帅！<br><br>没有顶层的专项工作小组，下面人根本放不在心中。<br><br>高怀钧就算再着急，那都没有用啊！>> --