片被喷涂上光刻胶,经过一系列操作后,再被送入光刻机的机台上进行光刻。
光刻机启动起来后,其实徐申学也看不到其内部的运转过程,毕竟光刻机工作对环境的要求非常高,除了极少数专属工作人员经过严密的除尘后可以进入外,普通外人是不能进去的。
别说人不能进去了,这光刻机工作的时候,对光线都有要求……所以光刻机的测试车间里,灯光都是暖黄色的。
因为其他色调的灯光,会影响到光刻机的光源波长……
制造芯片可是当代人类最为巅峰的生产技术。
如智云S303芯片,在指甲盖的芯片上,封装了足足七亿多个晶体管。
其技术难度相当于在指甲盖大小的芯片上,雕刻一座规模庞大的超级城市,而且还是住满人的超级大城市。
这种超高精度的加工,除了对设备要求极为苛刻外,还对环境要求也极为苛刻。
为了避影响测试,徐申学其实从头到尾都没有进入过机房,只是在外头隔着玻璃看一眼看而已。
而等测试开始后,为了避免外部光线进入影响测试,干脆是把玻璃窗都给遮挡了。
如今的徐申学以及其他一群人,只能是在外头的观察室里,通过实验室里的摄像头进行观察。
不过怎么说呢,芯片的生产虽然各种难,但是真正生产起来却是没有什么惊天动地的举动。
甚至连声音也没有多大,震动更是没有。
一旁的工作人员都不敢说话,害怕声音引起的震动影响测试……尽管这是他们的瞎担心。
但是,在这种关键的试验测试里,很多人都是不由自主的谨慎了许多。
里头的那台DUV干式光刻机,可是汇集了无数人的心血啊,多少人为这台光刻机的顺利诞生而呕心沥血啊!如今到了实际测试,看一看真本事的时候了,哪能不在乎、不小心啊!徐申学看着摄像机里的内容,整个芯片生产过程都是没有人工参与,全部都是自动化设备进行。
没有多久,一旁的王道林就带着一丝激动站起来道:“光刻已经顺利完成了,后面就是要进行接下来的几道去胶等工序,然后我们就可以看到试验结果了!”
徐申学一副镇定表情微微点头!看王道林这些人啊,就是眼界小了,格局差了,不过是第一遍光刻工序完成而已,这都是既定程序,没啥好惊奇的。
不久后,随着多道后续工序完成后,王道林道:“现在基本工序已经完成了,接下来就可以用电子扫描镜进行观察了。”
只是光刻试验而已,自然不需要正常芯片生产流程里的诸多后续工序,只需要光刻后进行去胶清洗等环节,做到能够观察其内部结构就行了。
很快,这一片晶圆片就被切割,然后其中的一片芯片被送到了专用的电子扫描镜下进行放大观察。
王道林一边解释道:“我们测试用的芯片,是一种集团里的低制程功能芯片,采用的是六十五纳米工艺,正好用来测试我们的DUV干式光刻机!”
这一次测试,只是测试光刻机的可用性,可不考虑什么良品率之类的问题,因此只需要通过最基本的测试就过关。
很快,电子扫描镜那边也陆续给出了图像,一群研究人员对着显示器里的密密麻的芯片内部,纳米级别的晶体管电路进行检查分析。
而分析的过程里,可以看见那几个工程师脸上的笑容越来越盛。
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