团,团团已经一岁多了,从越在锡城的这些天每天都要跟团团在电话里聊上几句,虽然团团这个小家伙不怎么爱搭理他,不过令从越开心的是团团会叫爸爸了,这让罗云清羡慕嫉妒恨啊,累死累活的天天带着,也没见先叫妈妈,开口说的第一个词就是“爸爸”。
从越从飞机上落地之后就直接去了自己的实验室,EUV光刻机正在秘密组装中,他在现场观摩了一会,安装工程师们不知道他们安装的是一台EUV光刻机,以为是一台三代+的新光刻机,毕竟没有开机运行,谁知道这玩意能加工出精度多高的芯片!
在现场看了一会之后,从越打了一个电话给熊院士。
“熊老,我刚回来,你那边怎么样了?”
电话那头的熊院士心情看来不错,他笑着跟从越说道:“一切顺利,经过测试使用了193nm波长的ArF氟化氩准分子激光光源,步进式扫描投影方式的这两台光刻机最高芯片加工精度都超过了35纳米,不过良品率目前还不能确定,这要依据所加工芯片的复杂度而定。”
听到这个好消息,从越也很高兴,但是他也没忘了问熊院士另外一件事:“熊老,你上次跟我说的浸没式步进扫描有什么进展没有?”
熊院士玩笑道:“不是我批评你啊,从总!你也太贪心了吧?这才几个月啊?你就想一个重大项目立刻有眉目,我可不是孙猴子,会七十二变!”
从越也笑道:“我就是随便问问,想了解一下!”
“项目已经完成立项,理论先行,目前可行性报告正在撰写中,等完成论证就可以开始下一步实验了!”熊院士向从越解释着。
“行!只要在进行中就好,需要资金就给我打电话,别的忙帮不上,钱管够!”从越豪气的承诺着。
熊院士笑道:“不会跟客气的,反正是给你干活的,拉磨的驴还要喂点黑豆呢!”
玩笑间两人结束了通话。>> --