nbsp;国内有了二条12英寸晶圆、180nm制程工艺的半导体生产线,台积电、三星都只有一条。
京城半导体公司(bSEc)研制成功的90nm制程工艺的光刻机虽然比GcA和Nikon晚了近三年的时间,比ASmL、canon、SVG晚了一年多的时间,但已经是一项了不起的成就。
美西方国家禁止出口最先进的技术和生产线给国内,孙健多次遭遇“有米无锅”的局面。
1993年3月,孙健奉命接手工业部四十五所、中K院微电子研究中心和中K院沪海光学精密机械研究所及其配套工厂,组建bSEc,bSEc生产的光刻机,制程工艺同GcA和Nikon相比,相差四代,落后20年都不止!
bSEc同中K院、华清、燕大、哈工大、国科大、华中大学、沪海硅片制造厂、冰城光源材料厂、金城激光器制造厂、金城金属气体厂等97家科研院所和公司长期保持合作关系,联合开发单晶硅、光源材料、激光器材料和光刻气体等技术攻关项目。
半导体产业发展日新月异,要不是全球光刻机产业被193nm波长的世界性光学难题卡住了,GcA和Nikon早就研制65nm制程工艺,甚至40nm制程工艺的光刻机了。
一步先步步先,光刻机的制程工艺不是花钱就能迅速解决的技术难题。
孙健将bSEc赶上GcA和Nikon的希望主要寄托在全球光刻机产业被卡在193nm波长的世界性光学难题上。
bSEc借助于出售磁悬浮式双工作台系统技术收取的专利费,于1995年实现盈利后,拿到了特批的上市额度,在鹏交所公开发行了1.5亿股(包括1000万职工股),发行价6元,融资8.73亿元(扣除发行费用),其中8亿元用于研发8英寸晶圆和500nm制程工艺光刻机,0.73亿元用于补充公司流动资金。
总股本增加到9.5亿股,每股净资产3.45元。
1996年6月24日,bSEc在鹏城证券交易所成功上市(其中1000万职工股于6个月后流通),首日以17.58元收盘,上涨11.58元,涨幅193%。
光刻机被称为工业皇冠上的明珠,是一个国家科技实力的综合体现。
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